这个加热装置很简单,就是把电源、钨篓、电位器(类似于滑动变阻器)、保险丝、电流计连在一起,通过调节电位器,便可以改变电路中的电流大小。
许秋缓慢扭动电位器的旋钮,使电流计示数从0逐渐增加至18安培。
当电流达到16安培时,膜厚仪上蒸镀速率开始有了示数。
电流达到18安培后,许秋等待了几秒,然后同时打开样品挡板并清零膜厚仪的膜厚计数器。
蒸镀速率则先是从0.2、0.3迅速提升至3.0,随后迅速回落至1.8,之后缓缓下降至1.7,1.6埃每秒……
电流计的示数也会随着时间变化,忽上忽下。
每当其相较于18的偏离值超过1时,许秋就将其调至18。
铝的厚度要求是100纳米,也就是1000埃。
……
待膜厚仪示数达到1000埃时,许秋迅速按下样品挡板。
然后缓缓扭动电位器,将电流归零。
接着关闭超真空挡板阀,停止分子泵。
等待十分钟后,分子泵转速从27000r..降至0,关闭其开关。
最后,关闭机械泵,关闭总控台。
…………
“终于结束啦!”许秋长吁了一口气,感慨道。
“这么多操作,居然零失误,厉害呀!”陈婉清赞叹道。
“这都是学姐教的好。”许秋道。
“行啦,别谦虚了,你的科研天赋我心里有数。
想想我当初学蒸镀,可是没少让魏老师头疼,不是忘记开空气泵,就是忘开挡板,甚至还有一次忘记放基片了。”陈婉清道。
听到最后一句,许秋没忍住笑了出来。
看到学姐在瞪着他,他赶紧把笑容收敛住,面色严肃的向手套箱走去。
进入手套箱,许秋旋开舱门上下的旋钮,开始拉舱门。
咦,舱门怎么拉不下来?
琢磨了一会儿,许秋明白了,因为蒸镀结束后,舱体内部还是真空状态。
于是他转头看学姐,可她似乎并没有主动解答的意思。
这么记仇啊。
他只好问道:“学姐,这个怎么弄?”
陈婉清指了指手套箱侧面,说道:
“那边有一个接通氮气瓶的阀门,可以往蒸镀舱内充氮气。”
许秋走过去,轻轻旋开阀门,“嘶嘶”的气流声传来。
10秒后。
20秒后。
30秒后。
没什么动静啊。
“学姐,什么时候停下来呢?”许秋忍不住问道。
“继续放气。”陈婉清面无表情道。
“哦。”
40秒后。
50秒后。
60秒后,正当许秋打算再次发问时。
“砰!”
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